共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 常見問題

• 可能原因：物鏡或樣品表面有污漬；樣品放置傾斜度過大，超出物鏡景深；所選物鏡倍率與樣品特征不匹配（如用高倍鏡看非常平坦的表面難以找到焦點）；自動對焦功能未找到合適區域。

  
  

• 處理思路：清潔物鏡和樣品表面；確保樣品大致水平放置；嘗試切換到較低倍率物鏡先找到大致焦面，再切換回來；嘗試手動對焦；更換一個表面特征更明顯的區域進行對焦。

  
  

• 可能原因：樣品表面反射率太低（太暗）或太高（過飽和），導致探測器信號信噪比差；環境振動干擾；掃描參數設置不當，如掃描速度過快、采樣步長不合適；樣品表面有透明涂層或材料，產生多重反射干擾。

  
  

• 處理思路：調整光源強度或相機增益，使預覽圖像亮度適中；確保設備放置在穩定環境；嘗試降低掃描速度，優化Z軸掃描步長；對于透明材料，嘗試在表面輕微噴一層薄薄的顯影劑（非常規方法，需謹慎）或使用專門分析模式；檢查并清潔光學部件。

  
  

• 可能原因：樣品固定不牢，在測量間發生移動；環境溫度波動較大，導致熱漂移；設備機械結構有松動或未充分預熱；測量區域選擇了不具代表性的、變化大的特征。

  
  

• 處理思路：確保樣品牢固固定；改善環境溫控條件；設備開機后充分預熱；在相對穩定的環境下進行測量；選擇表面均勻、有代表性的區域進行重復性測試；使用標準片驗證設備重復性。

  
  

• 可能原因：樣品表面過于粗糙，是漫反射表面，不適合干涉模式；參考鏡或樣品表面有污漬；光路受到干擾或未對準；環境振動過大。

  
  

• 處理思路：考慮切換到共聚焦模式進行測量；清潔參考鏡和樣品表面；檢查設備是否處于穩定環境，避免氣流和振動；如懷疑光路問題，聯系專業服務人員檢查。

  
  

• 可能原因：共聚焦模式本質上是點掃描或線掃描，其速度通常慢于面掃描的白光干涉模式；設置了過高的掃描分辨率（像素過多）或過小的Z軸步長；軟件處理參數設置復雜。

  
  

• 處理思路：權衡速度與分辨率需求，適當降低掃描分辨率或增大Z軸步長；如果樣品適合，可嘗試使用白光干涉模式以獲得更快速度；確保計算機性能滿足軟件處理要求。

  
  

• 可能原因：樣品本身放置不水平；樣品本身存在整體曲率（如球面、柱面）；測量區域存在固有的整體傾斜。

  
  

• 處理思路：這是正常現象，通常通過軟件的數據處理功能進行校正。使用“調平"或“去傾斜"功能，選擇參考平面進行擬合和扣除，即可得到去除整體傾斜或形狀后的表面形貌。

  
  

• 可能原因：軟件功能較多，新用戶需要時間熟悉。

  
  

• 處理思路：仔細閱讀操作手冊和快速指南；從基本測量流程開始練習，逐步探索高級功能；利用軟件自帶的教程或示例項目；向供應商尋求培訓支持。

  
  

• 可能原因：不同測量原理（光學非接觸 vs. 接觸探針）本身可能導致結果差異，特別是在邊緣、陡坡處；兩種設備測量區域、濾波設置、評價標準可能不wan全一致；樣品表面特性（如材料、反射率）對不同測量技術的影響不同。

  
  

• 處理思路：理解不同技術的原理和適用范圍；確保比對時使用相同的測量條件（如濾波類型、截止波長等）和評價標準；使用標準物質進行設備間的比對和關聯。

  
  

共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 常見問題