• 環(huán)境檢查：確保設(shè)備放置在穩(wěn)固、無強振動、潔凈的工作臺上，環(huán)境溫濕度適宜。

  
  

• 開機(jī)：依次打開主機(jī)、控制器和計算機(jī)電源，啟動測量軟件。

  
  

• 樣品準(zhǔn)備：樣品表面應(yīng)清潔、干燥，無灰塵、油污等污染物。對于過小或不平整的樣品，可能需要使用黏土或夾具固定在載物片上，確保測量時穩(wěn)定。

  
  

• 放置樣品：將樣品平穩(wěn)放置在儀器載物臺上。如果使用電動載物臺，通常可以通過軟件控制移動，便于尋找測量位置。

  
  

• 選擇物鏡：根據(jù)待測區(qū)域的大小和所需分辨率，通過軟件控制或手動旋轉(zhuǎn)物鏡轉(zhuǎn)盤，選擇合適的物鏡（如5X， 10X， 20X， 50X等）。

  
  

• 預(yù)覽對焦：使用軟件的實時預(yù)覽功能，通常是在“攝像機(jī)"或“預(yù)覽"模式下，通過調(diào)節(jié)Z軸高度（粗調(diào)或細(xì)調(diào)），使樣品表面在屏幕上清晰成像。可以利用軟件的自動對焦功能輔助快速找到焦面。

  
  

• 定位感興趣區(qū)域（ROI）：移動載物臺，將需要測量的特征區(qū)域移動到視場中心。對于需要測量多個區(qū)域的情況，可以使用軟件的多點測量功能預(yù)先設(shè)定多個位置坐標(biāo)。

  
  

• 模式選擇：這是S lynx2的關(guān)鍵步驟。根據(jù)樣品表面特性（如光滑度、粗糙度、反射率）選擇測量模式：

  
  

• 共聚焦模式：更適合粗糙、漫反射表面（如噴砂金屬、涂料、粗糙陶瓷）。

  
  

• 白光干涉模式：更適合光滑、鏡面或半鏡面反射表面（如硅片、拋光金屬、光學(xué)表面、薄膜臺階）。

  
  

• 軟件可能提供“智能掃描"選項，能自動分析預(yù)覽圖像并推薦模式。

  
  

• 參數(shù)設(shè)置：

  
  

  掃描范圍（Z軸）：設(shè)置垂直掃描的起始和結(jié)束位置，確保覆蓋樣品表面的最高點和zui
  低點。可先進(jìn)行快速預(yù)掃描來大致確定范圍。

  
  

• 掃描步長：步長越小，垂直分辨率越高，但掃描時間越長。需要根據(jù)表面粗糙度和精度要求平衡設(shè)置。

  
  

• 其他參數(shù)：如光源強度、相機(jī)曝光時間、掃描速度等，可根據(jù)樣品反射情況進(jìn)行微調(diào)，以獲得良好的信號對比度。

  
  

• 確認(rèn)參數(shù)后，啟動掃描。設(shè)備將自動控制Z軸移動，并在每個步長位置采集圖像。掃描過程中應(yīng)避免振動和觸碰設(shè)備。

  
  

• 掃描完成后，系統(tǒng)會自動處理原始數(shù)據(jù)（如分析共聚焦的強度峰值或白光干涉的相關(guān)峰），生成初步的三維形貌圖。

  
  

• 數(shù)據(jù)修正：軟件通常提供一些數(shù)據(jù)后處理工具，如去除傾斜平面（Leveling）、去除異常噪聲點（Spike Removal）、中值濾波等，以改善三維形貌圖的視覺效果和分析準(zhǔn)確性。

  
  

• 三維可視化：可以從不同角度旋轉(zhuǎn)、縮放三維形貌圖，觀察表面起伏。可以調(diào)整燈光和顏色映射，以突出顯示高度差異。

  
  

• 定量測量：這是核心分析步驟。軟件工具庫通常包括：

  
  

• 尺寸測量：點、線、面的長度、高度、角度、半徑等。

  
  

• 面積與體積：計算選定區(qū)域的表面積、投影面積、體積、凹槽容積等。

  
  

• 粗糙度分析：按照ISO 25178等標(biāo)準(zhǔn)，計算表面粗糙度參數(shù)（如Sa, Sq, Sz等）。

  
  

• 臺階高度測量：自動或手動測量不同平面之間的高度差。

  
  

• 輪廓分析：提取任意截面線，分析其輪廓曲線。

  
  

• 多區(qū)域與統(tǒng)計分析：對于批量樣品或同一樣品上的多個相同特征，可以設(shè)置模板進(jìn)行自動測量，并生成統(tǒng)計報告（如平均值、標(biāo)準(zhǔn)差等）。

  
  

• 將處理后的三維形貌圖、二維圖像、測量數(shù)據(jù)和分析圖表保存為工程文件。

  
  

• 使用軟件的報告生成器，將關(guān)鍵圖像、數(shù)據(jù)表格和統(tǒng)計結(jié)果整合到自定義的報告中，導(dǎo)出為PDF、Excel等格式，便于存檔、打印或分享。

  
  

通過遵循上述流程，用戶可以相對系統(tǒng)地完成從樣品準(zhǔn)備到結(jié)果輸出的整個測量任務(wù)。熟練操作后，可以進(jìn)一步探索軟件的高級功能，以應(yīng)對更復(fù)雜的測量需求。

共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 操作流程