共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 基本介紹
在微觀形貌測量領域，三維輪廓儀是一種常見的工具。Sensofar公司推出的經濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2，集成了共聚焦和白光干涉兩種測量技術，旨在為工業檢測和研發分析提供一種表面測量的選擇。
該設備的核心特點是技術集成。它將共聚焦顯微鏡的層析能力和白光干涉儀（也稱白光垂直掃描干涉，VSI）的快速、大范圍測量能力結合在一個系統中。用戶可以根據樣品表面的特性，選擇更適合的測量模式。例如，對于粗糙度較高、斜率變化較大的表面，共聚焦模式可能提供較好的測量結果；而對于光滑、連續、有微小臺階的表面，白光干涉模式可能更有效率。
S lynx2的整體結構設計考慮了緊湊性和功能性。設備集成了光學系統、電動載物臺和控制器。用戶界面設計得較為簡潔，從樣品放置到開始測量，操作流程的步驟較為清晰。軟件將光學控制、掃描設置、圖像采集、三維重建和數據分析等功能整合在一個工作環境中，便于操作。
在測量能力方面，設備能夠獲取樣品表面的三維形貌數據。通過垂直掃描樣品，它可以在非接觸的情況下，得到表面每個點的X、Y、Z坐標信息。基于這些數據，不僅可以觀察表面的三維形貌圖像，還可以進行多種幾何參數的定量分析，如高度、寬度、體積、表面積、粗糙度、臺階高度等。
對于多樣化的樣品，S lynx2提供了一定的適應性。它可以配置不同放大倍率和數值孔徑的物鏡，以適應從大范圍整體觀察到高倍率精細測量的需求。設備通常配備了自動物鏡轉盤，便于在不同倍率物鏡間快速切換，提高測量流程的效率。
在數據處理和報告生成方面，軟件提供了常用的分析工具包。用戶可以執行二維和三維的幾何測量，進行表面紋理和粗糙度分析，并按照ISO等國際標準計算相關參數。測量數據和三維圖像可以保存為多種通用格式，方便后續處理或導入其他軟件。軟件也支持生成結構化的測量報告，以便于存檔和分享。
考慮到工業環境的應用，設備的機械穩定性和可重復性是一些用戶關注的方面。S lynx2在設計中注重了結構的穩固性，旨在減少環境振動對測量結果的潛在影響。軟件中的自動對焦、多點自動測量等功能，也有助于提升批量檢測時的可重復性和效率。
總而言之，共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2作為一款經濟型集成化測量設備，其設計初衷是為那些需要在實驗室或生產現場對樣品表面進行三維形貌觀測和量化分析的用戶，提供一個具有多種測量模式選擇的工具。它適用于半導體、微電子、精密加工、材料科學等多個領域的表面質量檢測與研發分析工作。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 基本介紹
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