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當(dāng)前位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SENSOFAR共聚焦白光干涉儀白光干涉儀S neox的校準(zhǔn)與準(zhǔn)確性

白光干涉儀S neox的校準(zhǔn)與準(zhǔn)確性

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

白光干涉儀S neox的校準(zhǔn)與準(zhǔn)確性：Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀通過(guò)系統(tǒng)化校準(zhǔn)流程，確保XY尺寸、Z軸高度及干涉參考平等精確可溯，為科研與精密制造提供可靠、可復(fù)現(xiàn)的納米級(jí)測(cè)量數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2026-01-23
廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
訪(fǎng)問(wèn)量：113
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白光干涉儀S neox的校準(zhǔn)與準(zhǔn)確性

在精密測(cè)量領(lǐng)域，測(cè)量結(jié)果的可靠性和可信度是首要考慮的因素。儀器的校準(zhǔn)是確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確、可追溯至國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的基石。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀提供了系統(tǒng)化的校準(zhǔn)流程和工具，致力于保證在不同測(cè)量模式下獲得數(shù)據(jù)的一致性和準(zhǔn)確性。

校準(zhǔn)的本質(zhì)是通過(guò)與已知標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對(duì)，來(lái)標(biāo)定測(cè)量系統(tǒng)的尺度。對(duì)于S neox這樣的三維光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，校準(zhǔn)主要涉及幾個(gè)方面：XY平面的尺寸校準(zhǔn)、Z軸的垂直距離校準(zhǔn)，以及對(duì)于白光干涉模式至關(guān)重要的參考平面平整度校準(zhǔn)。

S neox的軟件通常內(nèi)置了清晰的校準(zhǔn)向?qū)?，引?dǎo)用戶(hù)逐步完成整個(gè)過(guò)程。對(duì)于XY校準(zhǔn)，會(huì)使用具有標(biāo)準(zhǔn)刻度（如微米級(jí)光柵）的參考樣板。系統(tǒng)通過(guò)成像并分析該樣板，來(lái)精確校準(zhǔn)每個(gè)物鏡的放大率，確保在水平方向上測(cè)量的尺寸與實(shí)際物理尺寸一致。
Z軸校準(zhǔn)同樣關(guān)鍵。它會(huì)使用具有已知高度（如臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)片）的參考物。儀器通過(guò)掃描這個(gè)臺(tái)階，將測(cè)量得到的高度值與標(biāo)準(zhǔn)證書(shū)上的標(biāo)稱(chēng)值進(jìn)行比對(duì)和校正，從而確保垂直方向測(cè)量的準(zhǔn)確性。這個(gè)過(guò)程對(duì)于共聚焦和白光干涉模式都十分重要。
對(duì)于白光干涉模式，還有一個(gè)特殊的校準(zhǔn)步驟：參考鏡平整度校準(zhǔn)。由于干涉測(cè)量是將樣品表面與一個(gè)內(nèi)部參考鏡進(jìn)行比較，任何參考鏡本身或光學(xué)系統(tǒng)固有的微小誤差都會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。因此，儀器會(huì)通過(guò)測(cè)量一個(gè)光學(xué)平晶（其表面平整度是已知的）來(lái)記錄系統(tǒng)固有的誤差圖。在后續(xù)測(cè)量中，軟件會(huì)自動(dòng)從樣品測(cè)量結(jié)果中減去這個(gè)誤差圖，從而得到更能反映樣品真實(shí)形貌的數(shù)據(jù)。
這些校準(zhǔn)工作并非一勞永逸。建議用戶(hù)根據(jù)使用頻率和環(huán)境穩(wěn)定性，定期進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保儀器持續(xù)處于良好的工作狀態(tài)。良好的校準(zhǔn)實(shí)踐，使得不同時(shí)間、由不同操作者使用同一臺(tái)S neox獲得的數(shù)據(jù)可以相互比較，這對(duì)于長(zhǎng)期的研究項(xiàng)目和生產(chǎn)過(guò)程的質(zhì)量追蹤尤為重要。
此外，校準(zhǔn)用的參考標(biāo)準(zhǔn)件本身需要可以溯源至國(guó)家或國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，從而建立起完整的量值溯源鏈。這意味著，用戶(hù)最終獲得的納米級(jí)高度測(cè)量結(jié)果，其可靠性是有據(jù)可依的。
因此，Sensofar S neox不僅提供了測(cè)量的能力，更通過(guò)一套完善的校準(zhǔn)體系，為測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性提供了支持，這對(duì)于需要嚴(yán)謹(jǐn)數(shù)據(jù)的科研和精密制造領(lǐng)域而言，是一項(xiàng)基礎(chǔ)且重要的特性。

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