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ZYGO激光干涉光學輪廓儀應用探索

產品簡介

ZYGO激光干涉光學輪廓儀應用探索在半導體與光學領域,薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜,若表面存在微米級顆粒或臺階起伏,可能導致器件失效或光學性能衰減。某專注光學薄膜研發的科技公司,曾因膜層表面檢測難題困擾多年,直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學輪廓儀,才真正實現了從“經驗判斷"到“數據驅動"的跨越。

產品型號:ZYGO Nexview NX2
更新時間:2025-10-31
廠商性質:代理商
訪問量:35
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ZYGO激光干涉光學輪廓儀應用探索

在半導體與光學領域,薄膜材料的表面形貌如同“隱形密碼"——一層僅幾十納米厚的鍍膜,若表面存在微米級顆粒或臺階起伏,可能導致器件失效或光學性能衰減。某專注光學薄膜研發的科技公司,曾因膜層表面檢測難題困擾多年,直到引入ZYGO Nexview™ NX2光學輪廓儀,才真正實現了從“經驗判斷"到“數據驅動"的跨越。
該公司主打研發用于AR眼鏡的增透膜,膜層厚度僅120nm,卻需保證表面顆粒度≤50nm、全局平整度偏差<1nm。過去,團隊依賴原子力顯微鏡(AFM)檢測,但AFM掃描范圍僅10μm×10μm,如同“用顯微鏡看地圖",只能捕捉局部細節,無法判斷整層膜面的均勻性。更頭疼的是,批量生產時,若按AFM抽樣比例(每爐抽檢5個點),常因漏檢導致整批膜層返工。“有次客戶反饋膜層附著力差,我們拆解后發現是局部顆粒堆積引發應力集中,但當時根本查不出問題根源。"研發主管王工回憶道。
接觸NX2后,團隊實現了“宏觀+微觀"的全景檢測。設備配置的白光干涉模塊,可掃描50mm×50mm的大視場區域,同時保持0.1nm的縱向分辨率——相當于在一張A4紙上,不僅能看清整幅畫的輪廓,連每根線條的粗細變化都能分辨。檢測時,軟件生成的彩色三維形貌圖讓團隊震驚:原本以為均勻的膜層,竟在邊緣區域存在密集的“小山包"(顆粒堆積),最高凸起達80nm。“以前AFM只測中心,我們誤以為膜面沒問題,現在才知道邊緣工藝參數需要調整。"王工說。
更關鍵的是,NX2的批量分析功能讓工藝優化有了明確方向。團隊將膜層制備的12道工序與NX2檢測數據關聯,發現顆粒堆積集中在“磁控濺射"環節——靶材濺射角度偏移導致部分粒子未均勻沉積。通過調整靶材位置并優化濺射功率,第二次檢測時,膜層邊緣的凸起高度降至20nm以下,全局平整度達標率從65%提升至92%。
目前,該公司的薄膜研發周期已從3個月縮短至1個半月。王工坦言:“NX2不僅是檢測工具,更是研發的眼睛。以前我們像在黑箱里試錯,現在每一步調整都能看到明確的形貌反饋,研發效率至少翻了一番。"對于薄膜這種“納米級精度+宏觀一致性"的材料,NX2的“跨尺度檢測"能力,正成為連接微觀機理與宏觀性能的核心橋梁。


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