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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SENSOFAR共聚焦白光干涉儀S?neoxSensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程
產(chǎn)品簡介
Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程作S neox需遵循標(biāo)準(zhǔn)化流程以確保檢測精度。首先清潔樣品臺并固定樣品，通過觸控屏啟動預(yù)覽功能框選檢測區(qū)域。
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Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程
操作S neox需遵循標(biāo)準(zhǔn)化流程以確保檢測精度。首先清潔樣品臺并固定樣品，通過觸控屏啟動預(yù)覽功能框選檢測區(qū)域。軟件自動匹配物鏡倍率并調(diào)整鏡頭位置，用戶可選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式。掃描參數(shù)如分辨率、速度等可手動調(diào)整或調(diào)用預(yù)設(shè)模板，支持自定義掃描路徑與區(qū)域分割。檢測完成后，軟件生成3D輪廓圖像并計算表面參數(shù)，如PV、Rq、Sa等，支持PDF、Excel、STL等格式導(dǎo)出。批量檢測可聯(lián)動自動化上下料模塊，每小時處理80-120個樣品，提升檢測效率。軟件還提供數(shù)據(jù)追溯與生產(chǎn)批次關(guān)聯(lián)存儲功能，支持ISO標(biāo)準(zhǔn)分析模塊，自動計算參數(shù)并生成檢測報告。在半導(dǎo)體金線高度檢測中，設(shè)備可同步獲取高度、直徑與傾斜角，重復(fù)性誤≤0.3%；在光學(xué)鏡片面型誤差分析中，白光干涉模式可精準(zhǔn)測量曲率半徑與PV值，偏差區(qū)域自動標(biāo)記并生成分析報告。
軟件自動匹配物鏡倍率并調(diào)整鏡頭位置，用戶可選擇共聚焦、白光干涉或多焦面疊加模式。掃描參數(shù)如分辨率、速度等可手動調(diào)整或調(diào)用預(yù)設(shè)模板。檢測完成后，軟件生成3D輪廓圖像并計算表面參數(shù)，支持PDF、Excel、STL等格式導(dǎo)出。批量檢測可聯(lián)動自動化上下料模塊，每小時處理80-120個樣品，提升檢測效率。Sensofar輪廓儀從定位到批量檢測的完整流程
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