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ZYGO 3D光學輪廓儀操作流程與場景適配ZeGage Pro 機身采用高強度鋁合金框架，厚度 5mm，經時效處理后抗拉強度達 300MPa，支撐內部精密部件穩定安裝，同時控制整機重量約 35kg，便于實驗室移動。
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ZYGO 3D光學輪廓儀操作流程與場景適配
物鏡組：鏡片采用高折射率低色散玻璃（LaK 系列），多層鍍膜（每層厚 100-200nm），透光率達 98% 以上，減少色差與雜光。物鏡外殼為不銹鋼（SUS304），同軸度誤≤0.01mm，確保光路精準，適配 5X-50X 不同倍率需求。
干涉儀模塊：核心棱鏡為石英材質（耐溫 - 50℃-200℃，折射率穩定），分光膜采用 dielectric 涂層，分光比誤≤2%，保證干涉信號穩定，支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。
光源組件：LED 燈珠為高亮度貼片式（單顆功率 1W，壽命 50000 小時），散熱外殼為鋁合金，帶鰭片結構（間距 2mm），連續工作 4 小時溫度升幅≤15℃，避免亮度衰減。
ZYGO 3D光學輪廓儀操作流程與場景適配