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激光干涉儀
ZYGO光學(xué)輪廓儀
ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點
產(chǎn)品簡介
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的使用與維護(hù)要點正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長期穩(wěn)定運行和測量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。
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正確的操作和定期的維護(hù)是保證ZeGage Pro長期穩(wěn)定運行和測量數(shù)據(jù)可靠性的重要環(huán)節(jié)。
使用環(huán)境要求: 儀器應(yīng)放置在清潔、干燥、無腐蝕性氣體的環(huán)境中。工作臺需要穩(wěn)固,以盡可能減少振動。環(huán)境溫度應(yīng)保持穩(wěn)定,避免陽光直射和空調(diào)出風(fēng)口的直接吹拂,劇烈的溫度波動會影響測量的穩(wěn)定性。
開機與準(zhǔn)備: 開機前,檢查電源線和網(wǎng)線連接是否牢固。開機后,系統(tǒng)會進(jìn)行自檢,建議預(yù)熱一段時間(如30分鐘),讓光學(xué)系統(tǒng)和光源達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。每次測量前,檢查樣品臺是否清潔,樣品是否固定穩(wěn)妥。

測量流程簡述:
放置樣品: 輕拿輕放,避免碰撞物鏡和樣品臺。
軟件操作: 打開MetroPro軟件,連接儀器。使用實時視頻找到待測區(qū)域。
選擇物鏡: 根據(jù)所需視野和分辨率,通過軟件切換合適的物鏡。
調(diào)整光強: 使用軟件的自動或手動光強調(diào)節(jié)功能,確保干涉條紋清晰且信號強度適中。
設(shè)置參數(shù): 設(shè)置掃描長度和采樣間隔。對于不熟悉的樣品,可先使用自動掃描功能。
開始測量: 點擊開始,儀器將自動完成掃描。測量過程中應(yīng)避免觸碰工作臺。
數(shù)據(jù)分析: 測量完成后,在軟件中使用相應(yīng)的工具進(jìn)行處理和分析,并保存數(shù)據(jù)和報告。
日常維護(hù):
清潔: 定期用軟毛刷或吹氣球清除樣品臺和儀器外部的灰塵。物鏡鏡片是精密光學(xué)部件,如有污染,需使用專用的鏡頭紙和清潔劑,按照規(guī)范輕輕擦拭。
校準(zhǔn): 為保證測量精度,建議按照廠家推薦的周期,使用標(biāo)準(zhǔn)參考件(如階梯高度標(biāo)準(zhǔn)板)對儀器進(jìn)行垂直標(biāo)定和橫向標(biāo)定。
存放: 長期不使用時,應(yīng)蓋上防塵罩,并將儀器存放在符合環(huán)境要求的地方。
遵循這些操作和維護(hù)指南,可以有效延長ZeGage Pro的使用壽命,并確保其始終處于合適的工作狀態(tài)

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