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ZYGO 3D光學輪廓儀的核心技術與工作原理ZeGage Pro的核心技術是相移干涉和相干掃描干涉術。這是一種通過光波的干涉現象來探測表面微觀形貌的技術。理解其工作原理，有助于用戶更好地操作儀器并獲得可靠的測量數據。
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ZeGage Pro的核心技術是相移干涉和相干掃描干涉術。這是一種通過光波的干涉現象來探測表面微觀形貌的技術。理解其工作原理，有助于用戶更好地操作儀器并獲得可靠的測量數據。
當儀器內部的光源發出的光束通過分光鏡后，被分為兩路：一路射向參考鏡，另一路射向被測樣品表面。兩束光反射回來后相遇，由于光程的差異，會產生干涉現象。如果樣品表面存在高低起伏，那么對應點的光程差就會發生變化，從而導致干涉條紋的移動。ZeGage Pro的探測器會記錄下在整個掃描過程中每一像素點的光強隨掃描位置變化的信號，即干涉信號。
通過對每個像素點的干涉信號進行算法處理，可以精確地確定出該點光強最大時所對應的掃描位置，從而計算出該點相對于參考鏡的高度。最終，將所有像素點的高度信息組合起來，就構成了樣品表面的三維形貌圖。這種方法的測量精度與光源的波長緊密相關，因此能夠實現亞納米級別的垂直分辨率。
ZeGage Pro在設計上考慮了測量的便利性。它內置了PZT（壓電陶瓷 transducer）掃描器，能夠以較高的重復性進行精密的垂直掃描。同時，儀器集成了自動光強控制功能，可以根據樣品反射率的差異自動調整光源亮度，避免信號過飽和或不足，從而擴展了可測樣品的范圍，從高反光金屬到低反光黑色材料均可適應。
這種非接觸的測量方式不會對樣品表面造成劃傷或污染，對于柔軟、易損或珍貴的樣品而言，是一種合適的測量選擇。此外，由于測量速度快，可以在短時間內完成大面積掃描，有助于提高檢測效率。了解其技術原理，用戶就能理解為何在測量前需要進行光強調整、為何要選擇適當的掃描范圍，從而在操作中做出合理的參數設置。
