雙模協同：了解Sensofar共聚焦與干涉技術

在表面形貌測量中，不同的樣品特性往往需要不同的測量技術。單一的測量方式有時難以應對多樣的樣品類型。Sensofar S lynx三維輪廓儀將共聚焦成像與白光干涉測量技術集成在一臺設備中，這種組合方式拓展了其應用范圍。

技術原理淺析：兩種方式的互補

共聚焦技術通過一個空間針孔來排除焦平面以外的散射光，從而能夠獲取樣品特定深度的清晰光學切片。通過垂直掃描，將這些切片疊加，就可以重建出表面的三維形貌。這種方式對于測量傾斜表面或具有復雜輪廓的樣品有較好的表現。

白光干涉技術則是利用白光光源的短相干性，當干涉儀參考臂與測量臂的光程相等時，會產生明顯的干涉條紋。通過垂直掃描并分析相機每個像素點的干涉信號，可以精確計算出該點的高度值。這種方式在測量階梯高度和光滑表面的微觀起伏時，能提供參考數據。

實際應用中的技術切換

在實際操作S lynx時，用戶可以根據樣品的實際情況，在軟件中選擇更適合的測量模式。

• 對于粗糙、高傾斜或漫反射表面，可以考慮優先使用共聚焦模式進行測量。

• 對于光滑、低粗糙度或需要測量微小臺階的樣品，白光干涉模式可能更為合適。

• 對于一些復雜樣品，甚至可以嘗試將兩種模式的數據進行融合，以獲取更完整的形貌信息。

這種靈活性使得S lynx在面對實驗室或產線上多樣的樣品時，能夠提供一種適應性的測量方案。

產品細節與性能表現

S lynx的光路設計考慮了兩種技術的集成，通過內部的光學組件切換，實現不同測量模式間的轉換。儀器所使用的LED光源具有較長的使用壽命和穩定的光強輸出。CCD相機負責圖像的捕捉，其像素數量與所選物鏡的搭配，共同決定了系統的橫向分辨能力。

性能參數概覽

• 垂直掃描范圍：可達數毫米（具體取決于物鏡配置）。

• 重復性：測量數據具有可參考的穩定性。

• 物鏡套組：支持多種倍率的物鏡，用戶可根據測量范圍與分辨率的需求進行更換。

了解共聚焦與白光干涉技術的原理與特點，有助于用戶更好地發揮S lynx雙模測量的潛力，為材料分析、質量控制等環節提供形貌數據支持。雙模協同：了解Sensofar共聚焦與干涉技術