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Sensofar 白光干涉儀測量技術原理探討?

產品簡介

Sensofar 白光干涉儀測量技術原理探討?
Sensofar S lynx輪廓儀的功能多樣性，建立在共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）這兩種核心測量技術之上。理解這兩種技術的基本原理和適用條件，有助于用戶在實際應用中選擇合適的模式。

產品型號：lynx2
更新時間：2026-01-06
廠商性質：代理商
訪問量：202
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 Sensofar 白光干涉儀測量技術原理探討

Sensofar 白光干涉儀測量技術原理探討?

Sensofar S lynx輪廓儀的功能多樣性，建立在共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）這兩種核心測量技術之上。理解這兩種技術的基本原理和適用條件，有助于用戶在實際應用中選擇合適的模式。
共聚焦測量技術細節
共聚焦技術的核心在于其光路中設置的針孔。這個針孔與樣本焦點處于共軛位置，能有效阻擋非焦平面的散射光。當物鏡沿Z軸進行掃描時，系統記錄下每個XY坐標點光強達到最大值時的Z位置。通過這種方式，可以逐點重建出樣本表面的三維高度信息。這種技術對光散射較強的表面，如粗糙的金屬、陶瓷或具有陡峭幾何形狀的結構，有較好的測量效果，其垂直測量范圍也相對寬泛。
白光垂直掃描干涉（VSI）技術細節
VSI技術利用白光光源相干長度短的特性。當光束分光后，一束光照射樣本表面，另一束光照射參考鏡。反射光匯合后會產生干涉，但只有在兩束光的光程差接近零的很小范圍內，才會出現清晰的干涉條紋。通過垂直掃描，并利用算法找到每個像素點干涉條紋對比度最高的Z軸位置，即可確定該點的高度。VSI模式在測量光學光滑、平坦或緩變的表面時，能提供出色的垂直分辨率。
技術的協同與選擇
S lynx的軟件能夠自動或根據用戶指令在不同技術間切換。例如，對于同時包含光滑區域和粗糙區域的復雜樣本，可以先使用共聚焦模式進行快速大范圍測量和定位，再針對關鍵的光滑區域切換至VSI模式進行高分辨率細節捕捉。這種靈活性使一臺設備能夠應對多種測量挑戰。
性能關聯因素
兩種技術的實際表現均與所選物鏡的數值孔徑（NA）密切相關。高NA物鏡提供更高的橫向分辨率，但景深和工作距離會減小。S lynx的自動物鏡轉盤使得針對不同視場和分辨率需求進行切換變得簡便。
總結
S lynx所搭載的共聚焦和VSI技術，構成了互補的測量體系。用戶通過理解其工作原理和特點，可以根據具體的樣本表面特性，做出適當的技術選擇，從而獲取有效的三維形貌數據。

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